ブックタイトルメカトロニクス12月2020年
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メカトロニクス12月2020年
MECHATRONICS 2020.12 17半導体製造機器 サファイア基板ウェットエッチング(PSS)用卓上型簡易高温エッチング石英バス。特徴は、①薬液使用最高温度300℃で、PSSをウェットエッチングで実現できる石英バスと、コントローラで石英蓋の自動開閉、石英カセットの自動上下制御ができる石英バスの2つで構成、②薬液温度管理と過熱防止回路、液面管理の安全装置付属、③適切な排気設備がある研究施設などでは、同製品で安全に高温プロセスを実験することが可能、など。XE-LAB卓上型簡易高温エッチング石英バス(株)ヒロテック 東京都中央区日本橋本町1-1-3 垂直軸使用に最適で、装置の小型化にも貢献するアンギュラ軸受け。特徴は、①JIS規格69シリーズをアンギュラ化、②深溝玉軸受け(同社製)と比較して、アキシアル剛性を約3倍にまで強化、③メンテナンス不要の高性能グリース封入+両シールド仕様、④耐フレッチンググリース(EA7)とクリーングリース(LG2)を選択可能、⑤予圧調整した組み合わせでの提供のため、取り付けが簡単、⑥精度等級P5を標準としている、など。クロクシーアンギュラ軸受けNSK マイクロプレシジョン(株) 東京都千代田区神田錦町3-17 0201サイズなどの極小部品を高感度に計測することを目指して開発されたはんだぬれ性試験機。特徴は、① 0201サイズチップ部品の評価ができる、②底面電極部品もはんだ小球法により測定が行える、③ぬれ力検出精度が従来機(5200TN)と比較して、1/10の1μNを実現、④ぬれ力の時間軸変化への応答性が従来機(5200TN)と比較して、1/14の10m秒(0→FS時間)を実現、など。5200Advancedはんだぬれ性試験機(株)レスカ 東京都日野市日野本町1-15-17 0402チップから大型基板対応のハイブリッドヒータ搭載フルオートリワークシステム。特徴は、①上面ヒータ:ハイブリッド方式(IR+エア)800W、②下面ヒータ:25個IRヒータ(600W/個)をマトリックス選択制御、③明快で機能的な校正が印象的なソフトウエア『HRSoft2』を搭載、④画像処理による自動部品搭載機能で、全自動リワーク作業を実現、⑤最高8つの熱電対温度モニタリング、⑥堅牢なフレームによる高精度な位置合わせ、など。ERSA HR600XLフルオートリワークシステムダイナテックプラス(株) 千葉県柏市柏の葉5-11-13高速かつコンパクトで、センシティブな産業向けに高い保護性能と柔軟性を提供する、新しいクリーンルーム仕様のロボット。特徴は、①衛生塗装を用い、油脂や粒子などの汚れが漏れ出ないように密閉されたボディを採用、②ロボットの接合部の隙間を最小限に抑え、細菌の増殖を抑える機構設計を採用、③可搬重量4kg、リーチ475mm、および可搬重量4kg、リーチ580mmの2種類を用意、④同社のOmniCoreコントローラを装備し、高度なモーションコントロール機能を備えており、迅速な組み立て、ピックアンドプレース、マテリアルハンドリングアプリケーションのサポートに最適、など。IRB1100クリーンルーム仕様ロボットABB(株) 東京都品川区大崎2-1-1ACサーボモータ並みの性能を低コストに実現した一体型サーボシステム。特徴は、①ステッピングモータの弱点であった高速回転時のトルクを向上させ、最大5000rpmの高速制御を脱調レスで実現可能、②手軽なステッピングモータ採用による運用コストの低下、一体型による設計工数削減、省配線などTCOへの貢献を追求している、③制御に必要なものはCM3、ケーブル、PC、電源だけで、それぞれコネクタを繋ぐだけでモータの制御が即座に簡単にできる、④立ち上げ時間を大幅に削減し、モータの知識がなくても簡単に精密に動作できる、など。COOL MUSCLE3・3 +一体型サーボシステムマッスル(株) 大阪市中央区今橋2-5-8高エネルギー焼結ネオジム磁石を搭載した特殊ステータ設計型ブラシレスモータ。特徴は、①同社標準型BN23ブラシレスモータの2倍を超えるトルク性能を有する、②高性能かつ小型のモータが必須のアプリケーションに適する、③急加速に対応する内部ロータ構造、④8極モータ、⑤長さ48.26mm、直径57.15mmのコンパクトサイズ、⑥定格トルク最大0.40Nm、⑦特殊ステータ構造(銅による最適なスロット充填により、高いモータ定数kmを実現)、など。BSG23特殊ステータ設計型ブラシレスモータ日本ムーグ(株) 横浜市西区北幸2-8-4頑丈で耐久性が高い設計になっており、測定レンジも幅広く2500Pa~35MPaF.Sまでをカバーする圧力トランスデューサ。精度は±0.1~±0.2% FSS BFSLまで選択可能で、出力も4~20mA、0~5Vdc、0~10Vdcと種類が豊富に用意されている。FP5000 シリーズ圧力トランスデューサ(株)クローネ 東京都葛飾区東新小岩3-9-6請求番号M5033 請求番号M5037請求番号M5034 請求番号M5038請求番号M5035 請求番号M5039請求番号M5036 請求番号M5040