ブックタイトルメカトロニクス2月号2019年

概要

メカトロニクス2月号2019年

24 MECHATRONICS 2019.2精密研磨された多層膜ミラーで、設計波長と入射角（AOI）で反射率が最大となるようデザインされている極端紫外（EUV）用平面ミラー。特徴は、①入射角5°と45°用をラインアップし、EUV放射においてもっとも高い反射率の波長である13.5nmでほぼ理想的な反射率になる、②RoHS指令に準拠し、スーパーポリッシュされた単結晶シリコン基板にコーティングが蒸着されているため、熱的安定性に優れている、③コヒーレント回折イメージング（CDI）や材料科学に適している、など。複合材料／樹脂／金属／セラミック等の各種材料に対し、高速で表面改質を行い、接着剤や塗料／コーティング剤の接着・密着強度を飛躍的に向上させる高密度大気圧プラズマユニット。特徴は、①低温での処理により、熱過疎性樹脂材に熱ダメージや素材に変質を与えず処理可能、②自己監視機能、メンテナスサポート機能、保守性に優れたユニット構造、③ウェット洗浄、火炎処理 プライマー処理に対して、高速／密度プラズマへ置き換え可能、など。X 軸（左右）ストローク：440mm、Y 軸（前後）ストローク：360mm、回転テーブル径：460mm、ラム（上下）ストローク数：21～93spm、ラムストローク長さ250mmにて、X 軸、Ｙ軸、テーブル回転軸の3軸NC制御の韓国製NCスロッターマシン。特徴は、①ラム上下駆動はインバータ制御、②ラム軸は前後方向に0～10度まで傾斜可能で、傾斜溝加工ができる、③制御装置は韓国LG製が標準装備（三菱メルダス製とFANUC製もオプション可能）、④テーブルは中空仕様にて切粉排出が効率的にできる、など。LM-777デジタル照度計一般形AA 級照度計に準拠し、高信頼性を追求したデジタル照度計。特徴は、① LED 照明などの光量調節に用いられるパルス幅変調調光に対応、② 1 ルクスから最大20 万ルクスの測定レンジに対応した小型ハンディタイプ、など。主な仕様は、センサ：シリコンフォトダイオード、表示：4桁／液晶表示、表示周期：2.5回/秒、表示単位：lx ／ fc ／ cd、測定範囲：0 ～ 199900lx、斜入射光特性：10°±1％／30°±2％／50°±6％／60°±7％／80°± 25 ％、電源：CR2450（3V）×2個、など。【（株）ティアンドティ】極端紫外用平面ミラー【エドモンド・オプティクス・ジャパン（株）】MUD-2430LDN停電時バックアップ機能付きスイッチング電源商用電源（AC）停電時に出力（DC）をバックアップする機能をもったスイッチング電源。特徴は、①入力はAC85～264Vまで対応、②停電時にDC24V／1.25Aで約20分間バックアップ、③UPSと比べ小型で、盤の中に設置することが可能、④端子台が外にあり、配線が容易に行える、⑤停電時における監視盤の集合表示灯の点灯、FA現場での瞬停対策、太陽光発電のキュービクル内のOVGR（過電圧地絡継電器）の瞬停対策、などの用途に適している。【マルヤス電業（株）】SANUPS G53A防災用ディーゼル発電装置IoT機能を搭載した防災用ディーゼル発電装置。特徴は、① Ethernet、RS-485などの汎用インタフェースを用いて、LANや周辺機器に接続でき、ユーザーの管理システムと組み合わせ、発電状況のリアルタイム監視を実現、②同社の無停電電源装置（UPS）と接続することで、安定した電源を途切れることなく長時間供給し続けることが可能、③寒冷地仕様、耐塩塗装、400V仕様など、用途に合わせてカスタマイズできる、④（一社）日本内燃力発電設備協会が定める防災用自家発電装置技術基準（NEGA C 311 規格）に適合、など。【山洋電気（株）】KTM-250NC（3）NCスロッターマシン【（株）大場機械販売】スワンプロ防爆塗装ロボット回転塗装を通じ、ランニングコストを抑えた塗装生産を実現する防爆塗装ロボット。特徴は、①独自の防爆モータを開発し、採用することで安全性を高める、②設置を容易にするコンパクト設計、③塗装を不良にしない丁寧な旋回機構をもつWターンを標準装備、④ロボットの無駄な動きをなくし、透けや垂れのない塗装を可能にするための治具設計、⑤あらゆるワークに対応、⑥1台のロボットで2コート対応、など。【タクボエンジニアリング（株）】FPF20-GM高密度大気圧プラズマユニット【（株）FUJI】EIS-200ERP小型ECRイオンシャワー装置ナノスケールのエッチング／成膜／リフトオフが可能な小型ECRイオンシャワー装置。特徴は、①タッチパネルを採用したPCを搭載し、プロセス制御が可能、②イージーオペレーションを実現し、再現性の向上にも寄与、③ Ar／Xeなどの不活性ガスに加え、O2／C3F8／CHF3などの活性ガスでも安定したプラズマが生成可能、④ニュートラライザを備え、石英ガラスなど絶縁物のエッチングも可能、⑤幅広い拡張性を実現、など。【（株）エリオニクス】B5085 B5089B5086B5087 B5091B5088 B5092請求番号請求番号請求番号請求番号請求番号請求番号請求番号請求番号B5090