ブックタイトルメカトロニクス7月号2016年

概要

メカトロニクス7月号2016年

8 MECHATRONICS 2016.7自動化を追求することで難しい不良解析を簡単に変える最小可測粒径0.05μmを実現する超純水プラント向け新たな赤外顕微鏡を発売オールインワンタイプの液中パーティクルカウンタを発売　（株）島津製作所は、S/N 比が30,000：1での測定を可能にし、測定対象を20個所まで自動認識する機能などを搭載して大幅な自動化を実現する赤外顕微鏡『AIM-9000』を発売した。　同製品は、同社従来製品のS/N比が6,000：1だったのに対し、その5 倍となるS/N 比30,000：1を実現しており、微小なサンプルの測定に優れている。サンプルをセットする際は、ステージが自動で下方に移動するので出し入れが容易。オプションである広視野カメラと標準搭載の顕微カメラにより、トータルで最小倍率1 倍／最大倍率330倍の可変デジタルズーム機能を実現し、極めて小さな不良個所も素早く容易に発見できる。測定範囲決定後は、ワンクリックで異物や不良と思われる個所を自動認識し、測定領域（アパーチャ）を自動で設定する。異物のスペクトル　リオン（株）は、最小可測粒径0.05μmを実現する超純水プラント向けの液中パーティクルカウンタ『KL-30B』を発売した。　同製品は、粒子検出部、表示部、流体制御部、データ出力機能を一筐体に収めたオールインワンタイプで、使用場所での利便性を高めており、超純水の供給ラインに直接接続し、清浄度を常時監視することが可能。最小可測粒径は0.05μmを実現し、粒径区分は0.05μmから0.2μmの範囲で、最大10 段階を設定できる。偽計数を低減させる技術を新たに採用し、従来比で約1/5に低減。粒子検出部の外気環境粒子による汚染を防止するため、フィルタでろ過した清浄空気を送り込む装置『パージエアユニット』を標準搭載している。試料圧力500kPa（ゲージ圧）と高圧にも対応。データ出力機能は、D/Aコンバータ（4取得後は、ソフトウエアに標準搭載されている異物解析プログラムによる自動解析が可能。同社独自の解析アルゴリズムを採用する異物ライブラリは、ヒット率が高く、分析者自身による成分数の決定といった作業を必要とせずに、数秒で同定結果を表示する。　赤外顕微鏡は、フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR）に接続して使用する装置で、赤外光の反射や透過を利用して、FTIR 本体のみでは測定できない微小領域を測定でき、医薬品の錠剤に付着した異物や、接触不良の原因となる電子基板の汚れの同定といった不良解析を主な用途としている。近年、安全意識の高まりや品質管理の重要性が増していることを背景に、同社では赤外顕微鏡の市場規模が毎年5％程度成長していると推定している。また、測定に習熟していない分析者も増えており、より微小なサン～20mA）、プリンタ、コンパクトフラッシュカード（オプション）、シリアルインタフェースと複数用意している。粒子検出部の取り外しが簡便な構造を採用し、メンテナンス性を向上。主な仕様は、光学方式：側方散乱方式、光源：半導体レーザ（波長：830nm、定格出力：200mW）、レーザ製品のクラス：クラス1 ／ IEC60825-1、受光素子：多チャンネルシリコンフォトダイオード、測定可能な試料：純水中の粒子（ただし、洗浄などの目的で接液部を腐食しない液体を導入することは可能）、など。　電子デバイス製造工場の洗浄工程に超純水が使用されており、液中パーティクルカウンタは、この超純水中の微粒子の粒径と個数濃度の清浄度管理に利用されている。　同社では、2016 年6 月1日より販売を開始しており、初年度50台の販売を計画している。また、日本国内のみならず、台湾、中国、韓国、米国、欧州、東南アジアでの販売も計画している。2016.7プルを短時間で手間をかけずに測定したいという要望が強まっている。　同社では、国内外100 台（2016 年度）の販売を計画している。請求番号G5002請求番号G5001請求番号G0009