ブックタイトルメカトロニクス3月号2016年

概要

メカトロニクス3月号2016年

　2015 年12 月16日（水）～18日（金）の3日間、東京ビッグサイトにおいて、半導体を中心としたマイクロエレクトロニクスの製造を支える装置／材料産業の総合イベントであるSEMICON JAPAN2015が、SEMI の主催によって開催された。　3日間の総来場者数は、60,378 名に上った。■独自技術の格子干渉方式を採用　（株）マグネスケールでは、非接触変位センサBNシリーズを紹介していた。　同製品は格子干渉方式という同社独自の原理で構成された新しいタイプの非接触変位センサで、十分なワーキングディスタンスと測定範囲をもちながら、高い分解能と再現性を実現。格子干渉方式は、参照光と物体光が常に同じ長さに保たれるため、温度変化による光源の波長変化、気圧変化、湿度変化によるドリフトがないという特徴がある。新製品のBN100シリーズは、センサヘッドの信号波長は279nm、高分解能インターポレータBD230CSを組み合わせると、分解能4.3pm が得られ、ウエハやマスク材料などの形状や位置を高分解能で計測することができる。■ PC ベースのデータ処理により、　大容量のデータも簡単に処理可能　（株）ビームセンスでは、マイクロフォーカスX 線透視装置に関する展示を行っていた。　これは、最新のコンピュータ画像技術を使って、X 線画像をより使い易くした装置。高感度で濃度分解が高い画素20μmの150 万画素平面撮像CCDセンサの独自開発し、小型マイクロ焦点X 線源と独自シャッタ機構で再現性の良いX線照射撮像システムを実現しており、小型部品や基板のX線検査（透視、断面観察、3D）に最適。PC ベースのデータ処理で大容量のデータも簡単処理が行え、省エネルギー設計を採用している。ブース内には、350W×450D×550Hmmという小型の3DCT 機『FLET-M345』を展示し、注目を集めていた。■極めて薄いウエアやガラス基板も　低ストレスで非接触固定　（株）タンケンシールセーコウでは、極めて薄いウエアやガラス基板も低ストレスで非接触固定することができる非接触吸着盤『ノンコンタクト チャッキング』を紹介していた。　同製品は、流体静力学による安定した浮上特性と、真空吸引による予圧効果で低ストレスと強力な把持力を両立しており、①ワークを支持する流体膜の安定性は気体軸受けそのもので振動がない、②給気／吸引ともに絞りをかけて高効率を達成し、空気消費を抑えている、③空気の流れはとても緩やかで、運転音がなく、塵やほこりを巻き上げない、④給気圧力と吸引圧力の組み合わせで、??間の調整が可能、⑤浮上??間は吸着面に対して均一でワークは高精度な平面で支持される、⑥ワーク全面を流体膜で支持し、保持力は一様でワークにストレスを与えない、などの特徴がある。■縦軸スキャン時に横方向も一度に測定　プレシテック・ジャパン（株）では、色収差ラインセンサを紹介していた。　この製品の大きな特徴は、縦軸スキャン時に横方向を一度に測定できることで、横方向にポイントが192個あり、一度に横方向のデータを取り込み測定が可能となっている。この他、①高い開口数（斜面のある材料も測定可能）、②材料依存に関係なく対応可能（ミラーのような高反射材、粗い材料、無透明材料、ガラスのような透明材料など）、③高精度、④調整によるセットアップ（起動）不要、⑤干渉の影響などがない、などの点が挙げられる。■半導体洗浄の薬液／純水流体管理を　簡単に行える　東フロコーポレーション（株）では、流量フィードバック制御バルブ『FCV-C シリーズ』を紹介していた。　同製品は、半導体洗浄の薬液／純水流体管理をもっと簡単に行うことができるもので、特徴としては、①設定流量値と外部からの流量情報を比較し、フィードバック制御、②高性能ステッピングモータを採用し、高分解能化処理を実現、③シリアル通信機能搭載（ModbusRTU 方式、最大32 連）、④設定流量値の指示方法を選択することができる（アナログ信号入力またはシリアル通信）、⑤高速な制御応答性（C40 型：約1 秒、C80 型：約2 秒）、⑥高速なバルブ全開動作（C40 型：約0.3 秒、C80 型：約1秒）、などの特徴が挙げられる。■生産現場の静電気管理に最適　内外テック（株）のブースでは、静電気チェック入室制御システム『Sems』を紹介していた。　同製品は、検査装置、歩行者ゲート、ソフトウエア、メンテナンスからなる、生産現場などでの静電気管理に適したトータルソリューションで、静電気チェックで作業員の入室制限を行う上、検査ログ／入室履歴の電子データ管理が行える。まず、カードリーダで従業員情報をスキャンし、登録された検査条件に従って検査を実行。静電気検査結果（OK ／ NG）に従ってゲート開閉を行う。また、静電気検査履歴やゲートの開閉履歴は参照できる他、Excel への出力も可能なので、データをフルに活用可能。エヴィデンスの取得や、工数の削減に貢献するものとなる。　同展示会の次回開催は、2016 年12 月14日（水）～16日（金）、東京ビッグサイトにおいて予定されている。2015 年12 月16 日（水）～18日（金）東京ビッグサイトSEMI■ 会　期■ 会　場■ 主　催SEMICON JAPAN 2015MECHATRONICS 2016.3 49非接触変位センサBNシリーズに関する展示非接触吸着盤『ノンコンタクト チャッキング』流量フィードバック制御バルブ『FCV-C シリーズ』に関する展示マイクロフォーカスX 線透視装置色収差ラインセンサに関する展示静電気チェック入室制御システム『Sems』