ブックタイトルメカトロニクス12月号2015年

概要

メカトロニクス12月号2015年

24 MECHATRONICS 2015.12半導体製造機器（S E M I C O N J a p a n）　クリーン対応（クリーン度クラス10）の直動式電動アクチュエータ。特徴は、①スライダタイプ、②本体幅32mm、③ストローク：25～300mm（25mmごと）、④ボールねじリード：6／4／2mm、⑤最高速度：420／280／140mm/秒、⑥最大可搬質量：水平3／5／8kg、垂直1.5／2.5／3.5kg、⑦駆動方式：ボールねじ、φ6mm、転造C10、⑧繰り返し位置決め精度：±0.02mm、⑨水平のほか、垂直／横立て／天吊り姿勢での設置が可能、⑩CE／RoHS指令、など。RCP4CR-SA3直動式電動アクチュエータ（株）アイエイアイ　静岡市清水区尾羽577-1　低アウトガスで小型チップボンディング／半導体ダイ接着／混成実装やそのほか230℃までの電気／電子部品組み立てに使用されているアレムコ･プロダクツ社製銀充填型高導電性／熱伝導性高温エポキシ接着剤。特徴は、①二液型で高純度銀薄片を使用して調製、②スクリーン印刷可能、③室温で0.0004Ω・cm以下の体積抵抗、3.5W/m･Kの熱伝導率、④連続稼動温度：230℃、間欠稼働温度：300℃、⑤引っ張りせん断強度：98.4kgf/cm2、など。556-HTSP銀充填型高導電性／熱伝導性高温エポキシ接着剤（株）エス・エス・アイ　東京都渋谷区南平台町1-5　抵抗率／ 厚さ／PN判定をすべて非接触測定可能なベルト搬送による高速非接触ウエハソーティングシステム。特徴は、①抵抗率は渦電流方式、厚さは静電容量方式を採用、②シリコンウエハ／GaP／InPなどの化合物半導体の生産管理に最適、③温度計／温度補正機能付き（シリコン）、④標準カセット数：ローダ×4／アンローダ×6（カセット数はいくつでも対応可能）、⑤測定再現性：[抵抗率]CV??0.7～3.0％（ρ??x×100％）、など。NC-6800非接触ウエハソーティングシステムナプソン（株）　東京都江東区亀戸2-3-6　フェースギヤ採用で小型／高精度を実現した、取り付け角寸法42／60mmのステッピングモータ。特徴は、①フェースギヤを小型／高精度に加工し、バックラッシレス／高強度で、モータの小型／高トルク／高効率化が可能、②負荷軸に対してモータを直角に配置できるため省スペース、③モータ取り付け角寸法に近い幅のスリム形状で、装置からのはみ出しを抑えた設置が可能、④左右どちらかを選択可能な出力軸をラインアップ、など。AR ／ RK Ⅱシリーズ 直交軸FC ギヤードタイプステッピングモータオリエンタルモーター（株）　東京都台東区東上野4-8-1請求番号M5073請求番号M5074請求番号M5075請求番号M5076請求番号M0018請求番号M0019