ブックタイトルメカトロニクス12月号2015年

概要

メカトロニクス12月号2015年

MECHATRONICS 2015.12 23半導体製造機器（SEMICON Japan）　ドープウエハ用厚みに対応した非接触厚み測定センサ。特徴は、①非接触式で高精度安定測定を実現、②4,000Hzの高速サンプリングで、R＆Dからインラインに対応、③干渉膜厚3層対応可能、④対象物の傾きにも測定可能な角度特性を実現（最大±5°）、⑤測定レンジ：15-2,000μm（n-＝1）／4μm-550μm（n＝3.7）／9μm-1,200μm（n＝1.78）、⑥スポット径が小さく、分解能が高い測定が可能（焦点スポット13μm）、など。CHRocodile DW非接触厚み測定センサプレシテック・ジャパン（株）　東京都品川区大崎5-1-11　耐熱温度1,650℃にて高熱伝導性や絶縁性が要求される用途でセラミック／金属類／半導体材料の接着に使用されているアレムコ・プロダクツ社製窒化アルミニウム充填型セラミック接着剤。特徴は、①一液型、ケイ酸塩結合、②粒子は10μ m 以下、③ 60 ～80W/m･K の高熱伝導性や187V／25.4μmの絶縁耐力がある、④揮発性有機化合物を含まない水分散性製品、⑤簡単に塗布でき、未硬化状態の製品は温水や石鹸で簡単に洗浄可能、など。865窒化アルミニウム充填型セラミック接着剤（株）エス・エス・アイ　東京都渋谷区南平台町1-5　独製ダイヤモンドペースト用クリーナ。特徴は、①ポリッシング後、しまを残すことなく試料をすべてのダイヤモンドコンパウンドに使用可能、②ラップされた試料にも使用可能、③スプレーはオイルやシリコンを含まない、④ほとんどにおいがない、⑤高いクリーニングパワーで容易に使用でき、あらゆるポリッシャに欠くことのできないクリーナができる、⑥研磨盤のクリーニングにも使用可能、⑦容器：500m?エアゾール、など。JOKE 社製クリーナ（有）伊藤商会　埼玉県川越市野田町1-14-66　スマートモータに保持ブレーキが付いた完全一体型の保持ブレーキ付き一体型サーボモータ。特徴は、①保持ブレーキ用に別電源を用意しなくてもよい、②省配線／省スペース、開発時間の短縮などメリットが多い、など。SM23165D-BRK保持ブレーキ付き一体型サーボモータムーグ アニマティクス　東京都武蔵野市吉祥寺本町1-20-1請求番号M5065 請求番号M5067請求番号M5066 請求番号M5068請求番号M0017