ブックタイトルメカトロニクス10月号2015年

概要

メカトロニクス10月号2015年

8 MECHATRONICS 2015.10従来比約3倍の生産性と2倍の高精度搭載を実現したWi-Fi通信に対応し、前処理装置内蔵でオールインワン測定可能な高速／高精度フリップチップボンダを発表ポータブルガス濃度測定装置を発売　ヤマハ発動機（株）は、優れた生産性と高精度搭載を共に実現した高速／高精度フリップチップボンダ『YSB55w』を発表した。　同製品は、マルチノズル（8ノズル／ヘッド）構成のヘッドを2 基装備したデュアルボンディングヘッド、およびデュアルフリップヘッドを採用したマルチダイサプライにより、8部品同時吸着／同時転写をパラレル処理で行なう構成とし、ウエハ供給からのフリップチップ搭載速度を追求することで、同社従来機種比約3 倍となる13,000UPH（プロセス時間を含む最適条件時）の高速搭載を実現。高度な構造解析による高剛性フレーム＆ビームを始め、高速性と優れた位置決め精度を実現した自社開発リニアモータ、新開発の高精度実装ヘッド、機能を向上した同社独自の多重搭載精度補正システムMACS（Multiple Accuracy　（株）島津製作所は、一酸化炭素（CO）／二酸化炭素（CO2）／メタン（CH4）ガスの濃度をリアルタイムでモニタリングすることが可能なポータブルガス濃度測定装置『CGT-7100』を発売した。　同製品は、ユーザーの用途に応じて、燃焼排ガス測定用CO-CO2 計／燃料電池研究用CO-CH4 計／触媒研究用CO-CO2 計（小流量測定タイプ）の3タイプを用意。本体にクーラやポンプといったサンプリングユニットを内蔵しているため、前処理専用の装置を必要とせずにオールインワン（装置単体）での測定を実現し、可動部が少ないシンプルな設計は故障が少なく、メンテナンス性にも優れている。新たに、Wi-Fiによる無線データ通信が可能になり、iPad（iOS 8.1 以降）によるリアルタイムな測定データの確認に対応。また、USBメモリによるデータ読み出しにもCompensation System）などの採用により、最新／最先端のフリップチップに求められる搭載精度±5μm（3σ）を確保。新開発の高分解能チップ認識カメラを採用し、バンプの欠落チェックと同時にバンプ基準での位置補正を精密に行い、高精度搭載を実現。チップの薄型化に対応するため、高精度な荷重制御を行なう小型ヘッドを採用し、チップへのストレスを軽減し、高品質搭載を実現。チップサイズは、□ 2～□ 30mm の幅広い範囲に対応可能。　近年の市場では、スマートフォンやウェアラブル機器の市場／生産規模が拡大するとともに、それらに使用される各種デバイスモジュールの小型／薄型／低消費電力／高機能化を可能とするため、一段と微細なプロセス／ルールによるフリップチップの採用がますます進んできており、これまで以上に搭載精度と生産性の向上が求められている。対応し、これらによりデータロガや記録計を現場まで搬入する必要がなくなり、運用の効率が高まる。　ポータブルタイプの赤外線式ガス濃度測定装置は、ガス給湯器やガスコンロのような熱源機器の研究開発や品質管理で使用されている。また、近年は新エネルギー／環境分野でのニーズが高まっており、燃料電池の高効率化や長寿命化に関する研究の一環で、天然ガスに含まれるメタンガス濃度のモニタリングや、不純物として発生する一酸化炭素ガスの濃度測定にも使用されている。さらに、天然ガスから水素を作り出す燃料改質装置で使用する触媒の研究のために、微小なガス流量での測定が可能で、かつ高濃度な一酸化炭素や二酸化炭素の濃度を測定する装置も求められている。　同社では、これまでポータブルガス濃度測定装置の販売実績が少なかった米国やアジア地域にも展開し、3タイプ合計で年間100 台以上の販売を目指す。2015.10　同社では、2015 年12 月より発売し、55 台（発売から1 年間／国内外）の販売を計画している。請求番号K5002請求番号K5001請求番号K0004