ブックタイトルメカトロニクス12月号2014年

概要

メカトロニクス12月号2014年

MECHATRONICS 2014.12 29半導体製造機器（セミコン・ジャパン2 014）　セラミック／半導体／金属／光学結晶をダイシング／ラッピング／研磨、そのほかの機械加工で一時的に仮付け固定するために使用する、米アレムコ・プロダクツ社製の仮付け接着剤。特徴は、①熱による流動点のことなる各種製品があり、取り付けプレートを予熱し、接着剤を溶融させて均一な層に広げて部材を置き、全体を冷ますことで簡単に固定できる、②加工後は熱湯や有機系溶剤または環境にやさしい専用剥離剤で除去可能、など。509 ／ 555 ／ 590仮付け接着剤（株）エス・エス・アイ　東京都渋谷区南平台町1-5正確に試料を固定でき、精度良く試料の向きを補正することで、今までとは違う仕上げを可能にした研磨機。特徴は、①研磨では見られなかった組織を見ることが可能（EBSDなど）、②包埋をしないで研磨することができる、③研磨技術者の技術を条件設定で再現し、ノウハウを構築できる、④豊富なホルダで、小さいものなど様々な製品の固定が可能、⑤微小荷重研磨の実現により試料のダメージが少ない、⑥包埋しないので観察までの時間が早い、⑦豊富なホルダで繊細な試料を制御、⑧便利な機能で使いやすい、など。ISPP-1000研磨機（株）池上精機　横浜市港北区新横浜3-8-8Φ150mm（6インチ）ウエハ対応の、フロントローディング式真空プロセス高速加熱炉。特徴は、①卓上型ながらも、加熱エリア上面、下面にIR（赤外）方式のヒータを装備し、最大到達温度1000℃、最高70K/sec.の高速昇温が可能、②窒素パージ方式による冷却方式を採用し最大190K/min.の降温も実現、③窒素ガスパージ、酸素ガスパージ、フォーミングガス（水素＋窒素）パージなどに対応、④ワーキングエリアがガスシールドされているためコンタミを気にするプロセスやその他のクリチカルなプロセスに使用可能、⑤上下48本のIR（赤外）ヒータによって加熱が行われるため正確で高速な加熱が可能、など。RTP-1000-150真空プロセス高速加熱炉ユニテンプジャパン（株）　神奈川県大和市林間1-5-8半導体や電子産業用製造装置や検査装置などの軽負荷用途向けに、リニアベアリングMINIRAILに加え光学式リニアフィードバックを一体化した計測システム。特徴は、①別途手配、設置してきたリニアフィードバックが不要で、高速化、高精度を求められる製造装置や検査装置のトータルコストダウンに貢献、②レール幅：7～42mm、③単体レール最大長：1,000m、④複数レール結合使用可能、⑤キャリッジ耐荷重：静負荷935～11,855N／動負荷645～6,200N、⑥インクリメンタルフィードバック、⑦分解能：0.1μm/1μm、⑧電源5：V1+/-5％、⑨出力信号：CMOS/TTL（RS-422互換）、⑩保護等級IP60。MINISCALE PLUS計測システム日本シュネーベルガー（株）　東京都港区虎ノ門3-20-5メッシュ構造で均熱を実現した高透過率フレキシブルヒータ。特徴は、①高透過率80％以上、②加熱対象に追従するフレキシブル性、③面状で均一に発熱、④電極部より任意の位置で端子の取り出しが可能、⑤主な用途は、監視カメラ、ガラス窓の結露防止、凍結防止、回路基板の保温、試験器具などの加温、保温、など。主な仕様は、最大外形寸法：450×600mm、厚さ：0.3mm以下、最高使用温度：80℃、ベース素材：PET、使用電源：AC、DC電源使用可能、など。透明フィルムヒータ高透過率フレキシブルヒータワッティー（株）　東京都品川区西五反田7-18-22つのモジュールから構成されている、サファイア基板ウェットエッチング（PSS）用の卓上型簡易高温エッチング石英バス。特徴は、①1つは薬液を300℃まで昇温可能な石英バスで、PSS（Patterned Saff hire Substrate）をウエットエッチングで実現できるもの、もう1つはコントローラで石英蓋の自動開閉、石英カセットの自動上下制御ができる、②薬液温度管理と過熱防止回路、液面管理の安全装置を付属している、③適切な排気設備がある研究施設などでは、全自動ウェットステーションは不要で、この装置があれば安全に高温プロセスを実験することが可能、など。XE-LAB卓上型簡易高温エッチング石英バス（株）ヒロテック　東京都中央区日本橋本町1-1-3ロボットをはじめ、各種産業機械設備で採用実績をもつ防護柵。大きな衝撃に耐えられるよう、綿密に開発されたシステムとなっている。標準寸法は、①ポスト（柱）H：2200mm、②メッシュパネルH＝2050mm、W＝200～1500mm（7種類）、③ドア用パネルH＝2050mm、W＝700～1500mm（5種類）、スイングドア、スライドドアあり、④セーフロック（安全スイッチ）　安全カテゴリ3/PLd　2種類あり　PLd　XCS-A702　PLd GL XCS-E7312（電磁ロック）、⑤フロア～パネル下限のすきま：150mm（調整可能）、など。TROAX 社製機械用防護柵（株）モリタアンドカンパニー　愛知県小牧市小針中島1-200加熱プロセスを見える化する透明ガラスヒータ。特徴は、①特殊配合した金属膜を石英ガラスに蒸着したもので、通電すると透明なまま発熱する、②急速な加熱能力でパワフルかつ精密に温度制御する、③加熱しながら試料を観察したり､光学評価を実施できる、④500℃に急速加熱／40℃で精密温調、⑤透過率およそ80％、⑥最大500℃の加熱、⑦最速100℃／5秒、⑧面内温度分布：±5％、⑨5年以上の装用実績、など。S シリーズ透明ガラスヒータ（株）ブラスト　横浜市神奈川区西神奈川1-13-12請求番号M5105 請求番号M5109請求番号M5106 請求番号M5110請求番号M5107 請求番号M5111請求番号M5108 請求番号M5112