ブックタイトルメカトロニクス10月号2014年

概要

メカトロニクス10月号2014年

MECHATRONICS 2014.10 9長距離測定と高い温度分解能を実現する高透過率の次世代半導体ウエハを一括マッピングする光ファイバ温度センサを発売高信頼のウエハマッピングセンサを発売　横河電機（株）は、優れた温度分解能で長距離を測定できる光ファイバ温度センサ『DTSX3000』を発売した。　同製品は、従来製品比8 倍の光ファイバ50km の測定が可能であり、長距離電力線、高温／低温の液体／ガスを輸送するパイプラインやこれらを貯蔵するタンクなど大型設備表面の温度分布の測定に適している。シェールガス開発で、地中深くの岩盤を水圧で破砕して割れ目を入れる際に地層の温度分布を測定するためには、温度変化が微小なため高い温度分解能のセンサが求められる。同製品は、6km の光ファイバを10 分間測定した場合の温度分解能が、従来製品比1/20 以下の0.03 ℃を実現し、岩盤破砕時から、ガス回収中の井戸内部の温度監視まで活用できる。　同社の従来製品『DTSX200』は、非在来型の石油／天　竹中電子工業（株）は、検出能力に実績のある透過型ウエハ枚数検出センサに最新の光学モードを装備したウエハマッピングセンサ『ASWシリーズ』を発売した。　同製品は、薄い円盤状の半導体ウエハのサイズごとに、6 ／8 ／12インチ用をラインアップ。簡単な操作で設定を行うオートティーチングを装備するとともに、検出は「ノーマルモード」と、透過率の高いウエハのエッジを検出する「ラッチモード」の2種類のモードを装備している。オートティーチングと2 種類の検出モードにより、現在の主流材料である半導体シリコンウエハに加え、次世代半導体材料のSiCや近年増加しているサファイアウエハなど、従来の透過型では安定検出が難しいとされていた高透過率の半透明ウエハを確実に検出する。　また、光軸の細いファイバセンサやレーザ式光電センサ然ガス井戸内部に挿入して地中の温度変化を測定、ガス回収のための制御に活用されている。また最近は、パイプラインやタンクにおける高温／低温の液体／ガスの漏れ検知や、石炭やパルプチップを運搬するベルトコンベアの異常発熱の検知など、温度を監視することで設備保全に役立てられている。従来の監視カメラ画像による確認や、熱電対、測温抵抗体などの温度センサを多数設置して温度を監視する場合と比べ、光ファイバ温度センサは測定対象の形状に沿って敷設でき、保全員はPC 上で温度分布を把握することができる。そのため、万が一異常が発生しても、発生場所をひと目で特定し、迅速な初動を取ることが可能である。今回は、「従来以上に微小な温度変化も見逃したくない、1 台でもっと長距離、広範囲の温度分布監視を行いたい」というユーザーニーズに応え、同製品が開発された。に比べて設定が容易で、反射型センサに比べてウエハ端面の形状の影響を受けにくいなど、検出条件が制限されにくい。センサ検出部（コーム部）には電子部品がないので、静電気による誤動作や静電気を帯びた半導体ウエハによるコーム部の静電破壊を防止できる。個々のコーム部に故障があった場合でも、センサ本体の配線作業なしに不具合のコーム部のみを差し替え交換できるため、日常の保守点検や不具合時の装置休止時間の短縮化に貢献する。　主な用途としては、コンピュータのCPUやメモリ、太陽電池や車載電池に用いられる半導体の製造／搬送工程でのカセットやFOUP 内の半導体ウエハの有無検出、枚数の一括検出などに適している。　同社では、500 台／年の販売を目標にしている。2014.10　同社では、2014年度20台、2015年度100台の販売（海外も含む）を目標にしている。請求番号K5004請求番号K5003請求番号K0007