ブックタイトルメカトロニクス6月号2014年

概要

メカトロニクス6月号2014年

38 MECHATRONICS 2014.6半導体設計ツール・製造機器・装置　簡単／迅速に文書やまたは製品に印字可能なインクジェットハンディスタンプ。特徴は、①自動のナンバリングや日付／時刻の印字機能をもち、日付などを決定すると自動で更新される、②漢字／ロゴ／各種バーコードにも対応、③PCで簡単にレイアウトを作成可能、④複数行の印刷レイアウトが可能、⑤携帯に便利で、操作／プログラムが簡単、⑥金属やプラスチックなどの非吸収性の表面上に印刷できる機種も用意、など。M621J-SPG970M シリーズハンディスタンプ（株）シロ産業　大阪府東大阪市菱屋東2-9-17多彩なワーク上での印字、シリアル管理が可能なレーザマーキング装置。特徴は、①キャリア上に固定されたFPC、ICパッケージ、金属部品などの表面に各種（英数字、カタカナ、ひらがな、漢字、QRコード、DotMatrixなど）を行なう、②工場の生産管理システムとリンク可能、③生産データや製品のトレーサビリティ管理に活用、④平滑金属面、鋳造品の粗い面など各種素材に対応、⑤短波長レーザの採用、高精度、高分解能で印字、⑥外部とのデータ入出力インタフェース、⑦工場生産管理システムからの遠隔操作、データのダウンロードが可能、⑧生産データをフィードバックが可能、⑨浅彫り印字が可能、など。SLM-01レーザマーキング装置（株）大橋製作所　埼玉県加須市豊野台1-471-8ICソケットに組み込まれたプローブなどに付着、転移したはんだくずを効果的に取り除くことができるメンテナンスブラシ。特徴は、①ブラシにきわめて細いステンレスワイヤを採用、②プローブをICソケットから取り外さずそのまま10回から20回程度ブラッシングするだけではんだを除去、③コンタクト改善時間を短縮、④部分的なクリーニングが可能、⑤薬品での洗浄より大幅に短い作業時間と低いコスト、⑥優れた携帯性で突発的な応急対応作業に最適、⑦線毛がしなやかで細くクラウン形状の細い先端の谷間の汚れに届く、⑧樹脂線毛にはないステンレス線の強度、硬度で取りづらかった汚れにも効果的、など。ナノテクブラシメンテナンスブラシ（株）喜多製作所　大阪府泉南市りんくう南浜4-27半透明／透明フィルムや金属箔などの生産時に発生する50μm径程度のピンホールの有無をインラインで検出する検査ユニット。特徴は、①半導体レーザの照度が均一な200μm幅のラインレーザを採用したことで、半透明／透明フィルムや金属箔など、さまざまな素材の最小50μmまでのピンホールに対応、②コンパクトなユニットなため、ユーザーの要望により新設のラインだけでなく既存の生産ラインにも後付け可能、③光検出方式による非接触検査のため、液体によるストレスや電界、磁場、電解液など特性環境にサンプルをさらすことなくピンホール検査が可能、④省スペースかつ安価、など。C14760光学式ピンホール検査ユニット浜松ホトニクス（株）　静岡県磐田市下神増314-5分光干渉法を利用したウエハ厚み計。特徴は、①反射分光測定により非接触／非破壊でウエハを傷つけることなく厚みを測定でき、レーザ干渉方式と比べても高い測定再現性を実現、②高速測定でリアルタイムでの研磨モニタが可能、③保護フィルム、窓材など中間層越しの計測が可能、④長いワーキングディスタンス（WD）を実現し、機器組み込みが容易、⑤組み込み機器に応じて自由にWDを選ぶことも可能、⑥小型／省スペースで機器への取り付けが容易、⑦インライン測定で要求される外部トリガに対応、⑧厚み測定に最適な独自の解析アルゴリズムを採用、⑨厚み分布を自動でマッピング可能、など。SF-3分光干渉式ウエハ厚み計大塚電子（株）　大阪府枚方市招提田近3-26-3フィルム表面上の金属異物と非金属異物を検査する機能を搭載したシート表面検査装置。特徴は、①ラインセンサカメラを用いて外観検査を行うため数十μm分解能での金属異物をロール to ロールで検査できる、②欠陥の形状や大きさまで画像で認識でき、金属種は磁性体と非磁性体は問わないので2次電池セパレータなどの絶縁シートに求められる高い安全性を確保し、金属異物欠陥の流出リスクを低減、③金属異物とその他の非金属異物を区別して検査できるため後工程で金属異物専用の検査工程が不要で、再検査による手間とコストを削減でき生産効率向上に貢献、など。スーパーNAPS- λシート表面検査装置オムロン（株）　東京都港区港南2-3-13サファイア加工基板（PSS）上に、窒化ガリウム（GaN）をエピタキシャル成長にて薄膜を形成し、提供されるGaNテンプレート。特徴は、①GaNのエピタキシャル成長はPSS形状と一体不可分であり、PSS形状に最適な条件でGaNを成長させているので、生産用、研究開発用途にも最適、②undoped GaNテンプレートとn型GaNテンプレートを用意、など。主な仕様は、GaN平均厚み：2-5μm（A）／5-8μm（B）、FWHM（0002）：＜250arcsec（A）／＜230arcsec（B）、転移密度：＜7E8cm-2（A）／7E8cm-2（B）、厚み均一性：＜15％、ウエハサイズ：2inch、ウエハ基板仕様：c-面、片面研磨、など。生産／研究・開発用GaNテンプレート（株）山口光半導体研究所　山口県宇部市常盤台2-16-1コンパクトでありながら幾何学倍率1,000倍を達成し、かつコストパフォーマンスが高いオフラインX線自動検査装置。特徴は、①小型X線装置でありながら、幾何学倍率1,000 倍を達成している、②同社の独自技術である『X 線ステレオ方式』を採用したことで、裏面情報のキャンセルを実現、③フラットパネルが60°傾斜して観察することができ、しかも斜め観察であっても倍率が下がらない、④斜めからの観察にあたっては、観察位置を自動で追従する（カメラが傾斜してもポイントがずれない）、⑤オプションで自動検査機能を追加可能、など。FX-300tRXステレオ方式X線自動検査装置（株）アイビット　川崎市高津区坂戸3-2-1請求番号F5177 請求番号F5181請求番号F5178 請求番号F5182請求番号F5179 請求番号F5183請求番号F5180 請求番号F5184