ブックタイトルメカトロニクス5月号2014年

概要

メカトロニクス5月号2014年

56 MECHATRONICS 2014.5　2014年1月29日（水）～1月31日（金）の3日間、東京ビッグサイトにおいて、ナノ材料／素材、ナノ評価／計測技術、装置、ナノ加工技術／装置など、各応用分野に対応した最新技術・製品を一堂に集めた『nano tech2014』が開催された。■納品日にすぐ加工可能　スペクトロニクス（株）では、卓上型レーザ加工キットを紹介していた。　卓上型グリーンレーザ加工キットは、納品してすぐに加工できるもので、アルミ箔はく離、ダイヤモンドへの凹加工や溝加工、及び切断、炭素繊維強化プラスチックCFRPへの切断及び穴あけ、PCD凹加工などが行える。アッテネータ、ビームエキスパンダ、カメラ、波長板、リング照明、デジタルガルバノ、アナログガルバノ、絞り、Zステージ、Fθレンズ／テレセントリック、立ち上げサポートなどが組み合わせ自由である他、オプションとして、集塵機、レーザ保護具、ガルバノソフトインストール済みPCなども用意されている。ブースでは、加工のサンプル写真を示しながらの詳細な説明が行われており、多くの来場者の注目を集めていた。■従来機種から大きく進化　（株）エリオニクスは、最大加速電圧100kV、高機能、高コストパフォーマンスの電子ビーム描画装置を紹介していた。　同製品は最大加速電圧が100kVで、最小描画線幅6nmを実現する装置。先代モデルに比べ、消費電力で30％削減､設置面積では24％の省スペース化を実現している。また、広域フィールド全域にわたり低歪みで描画可能な新設計の電子カラムを搭載している点、フィールドつなぎの回数を大幅に削減し、スループットが飛躍的に向上している点、大電流でもビーム径を細く絞れる電子光学系の採用、Windows ベースの親しみやすいインターフェースの採用、同社のオリジナルCADを搭載し便利な描画機能を網羅している点、などの特徴をもつ。■ヘッド波形を自動最適化する　インクジェット卓上実験装置　（株）マイクロジェットでは、インクジェット卓上実験装置『LaboJet-600』を紹介していた。　液滴速度の自動測定、オートチューニング機能によるヘッド駆動条件自動設定を行うIntelliJet 機能を搭載した同製品は、ヘッド波形のオートチューニング、吐出トラブルに対応したアドバイス機能、指定位置にミクロンの精度でパターン形成が可能、液の粘度や液滴サイズに応じて多種類のヘッドから選択が可能、といった特徴を有する。インクジェット液材料の開発／評価、各種電子デバイスやバイオデバイスの試作、インクジェット基礎技術の習得、微量分注／パターニング実験などの用途に適するという。■実用環境下での高分解能を実現　（株）島津製作所では、高分解能 走査型プローブ顕微鏡（HR-SPM）『SPM-8000FM』を紹介していた。　周波数検出方式を採用した同製品は、大気中／液中における高分解能観察だけでなく、固液界面の水和／液媒和の観察ができる装置。原理的に高感度な測定法である周波数変調（FM）方式によって、より高い分解能での撮像が行える他、大気中／液中でのノイズを従来比1/20に低減している点、真空型SPMの性能を大気中／液中で実現する点、などの特徴を有している。　同展示会の次回開催は、2015 年1 月28日（水）～30日（金）、東京ビッグサイトにおいて予定されている。■塵／電磁ノイズの発生がない　浜松ホトニクス（株）では、微弱X 線を照射することで除電をする光照射式の静電気除去装置フォトイオンバーを紹介していた。　従来のコロナ放電式の静電気除去装置は、放電現象によってイオンを生成し、生成されたイオンを送風で帯電体に送ることで除電する機構だった。しかし光照射式のフォトイオンバーである同製品は微弱X 線を照射することで帯電体近くの大気を直接イオン化し、除電するため、送風が不要で、塵／電磁ノイズの発生がなく、良好なイオンバランスによって逆帯電を起こさない。この他、コンパクトで設置レイアウトが自由自在であること、生産ラインに合わせて除電エリアを変えられる、といった特徴を有している。■幅広い用途／要望に応えるめっき技術　（株）ワイピーシステムは、めっき加工品とアルミニウム表面処理のラインアップについて展示していた。　めっき加工品のラインアップとしては、極低温で加工するために精密部品の表面処理に適し、ゆがみが発生せず、防錆力、高密着性にすぐれ、半導体製造装置や工作機械、乱反射防止の光学機械などの用途に最適な「低温黒色クロム（CBC）」や、電気を流さずにめっきをし、膜厚均一性がよく、プラスチックにもめっきができて電子部品や精密機器、自動車などに適する「無電解ニッケルめっき」、無電解めっきを熱処理することにより皮膜がさらに硬くなる「硬質無電解ニッケルめっき」などの他、「無光沢ニッケル」、「光沢ニッケル」、「硬質クロム」、「黒色クロム」、「光沢クロム」など幅広いバリエーションが紹介されていた。■豊富な機能を搭載した　蛍光X 線式膜厚計　（株）電測では、蛍光X 線式膜厚計『EX-731』を紹介していた。　同製品はニューメリックフィルタの他に、2 種類のメカニカルフィルタを標準で装備しており、メカニカルフィルタを使用することでCu 上のNi 皮膜やZn 上のCu 皮膜なども高精度で測定可能。また、測定部モニタ画面上でマウスクリックによる位置合わせや他点連続自動測定ができる他、マイクロステップ動作によりステージ移動が従来機種よりもスムーズ、かつ高速になっている。さらに、測定物のめっき厚分布も、3 次元グラフ表示機能によって一目瞭然でわかる。機器トラブル解消に敏速に対処する自己診断機能、X 線管保守機能も有している。■ 24 時間365日管理するための　プロセス分析装置　メトロームジャパン（株）では、多機能型オンライン湿式化学分析装置を紹介していた。　『ADI 2045TI』は、24 時間365 日管理するためのプロセス分析装置で、厳しい環境下でも耐えられるIP66/NEMA4 準拠ハウジングを採用。装置内の湿式部分と電気部品部分を完全に分離した設計で、様々なプロセス工程に対応できる柔軟性と拡張性が高いモジュラデザインを採用している。また、複数の試料経路、複数の分析メソッド、複数の化学成分に対応し、異なる試料経路の同時分析と測定時間短縮のためのメソッド作成が可能となっている。15インチタッチパネル型TFTディスプレイを搭載している点も特徴になっている。　同展示会の次回開催は、2015 年1 月28日（水）～30日（金）、東京ビッグサイトにおいて予定されている。2014年1月29日（水）～1月31日（金）東京ビッグサイト（一社）表面技術協会／日本鍍金材料協同組合／（株）ICSコンベンションデザイン■ 会　期■ 会　場■ 主　催nano tech 2014（第13回 国際ナノテクノロジー総合展・技術会議）SURTECH2014（表面要素技術展）2014年1月29日（水）～1月31日（金）東京ビッグサイトnano tech 実行委員会■ 会　期■ 会　場■ 主　催卓上型レーザ加工キットに関する展示（株）エリオニクスのブースインクジェット卓上実験装置『LaboJet-600』高分解能 走査型プローブ顕微鏡（HR-SPM）『SPM-8000FM』光照射式静電気除去装置フォトイオンバー『L12536』とフォトイオナイザ『L12645』蛍光X 線式膜厚計『EX-731』多機能型オンライン湿式化学分析装置『ADI 2045TI』（株）ワイピーシステムのブース