ブックタイトルメカトロニクス12月号2013年

概要

メカトロニクス12月号2013年

MECHATRONICS 2013.12 31半導体製造機器 （ セミコン・ジャパン2 013）　エンコーダを付けた高トルク2相ステッピングモータ。特徴は、①現在位置のモニタや位置ずれの検出などが可能、②コンパクトな装置に適した小型エンコーダを搭載し、装置の省スペース化に貢献、③出力回路形式はラインドライバ出力を採用し、差動出力のため耐ノイズ性に優れ、電圧出力に比べて配線距離を延ばすことができる、④基本ステップ角：1.8°（標準）／0.9°（高分解能）、エンコーダ分解能：200P/R（標準）・400P/R（高分解能）、など。PKP シリーズ エンコーダ付き高トルク2相ステッピングモータオリエンタルモーター（株）　東京都台東区東上野4-8-1　LMガイドとボールねじを採用し、高精度な位置決めと繰り返し精度を実現した自動はんだ付けロボット。特徴は、①低コストを実現した高剛性型、②ラダープログラムを必要としない簡単コントローラを採用し、煩わしい条件出しも容易に操作可能、③様々なワークサイズや設置スペースにもカスタマイズが可能、④はんだユニット部は、はんだ径φ0.3～1.6mmまで対応し、はんだ供給エラー検出機能を標準装備、⑤コテ先を簡単に交換できる、など。はんだRobo自動はんだ付けロボット薮内産業（株）　大阪府東大阪市菱江3-15-9高水準のFlBカラムとFE-SEMカラムをコンバインした、FlB-SEMダブルビーム／トリプルビーム装置。特徴は、①小片～φ200mmウエハまで幅広いサイズの試料に対応するFlB-SEM複合装置、②トリプルビームは、FlB-SEM-Arの３つのビームが試料同一位置で交差する構成の同社独自の装置、③FIB加工中も極低加速Arイオンビーム仕上げ加工中も、リアルタイムSEMモニタリングが可能なため、特定位置を狙った高品位TEM試料作製に威力を発揮する、④最大プローブ電流密度は30A/cm2（50A/cm2へのバージョンアップが可能）、など。XVision 200 シリーズ集束イオンビーム装置（株）日立ハイテクサイエンス　東京都港区西新橋1-24-14　極薄基板から厚板まで垂直搬送による全自動乾燥機。特徴は、①ローダ＆アンローダ標準ワークは専用冶具に自動で固定され、乾燥条件に適応した速度で炉内を移動後、冶具から取り外され後工程へと移送される、②専用冶具の遮蔽効果によりダミーは不要、③温度の一定保持、段階的保持も可能で、HEPAフィルタを通過した熱風でクリーンな乾燥を実現、④キープ時の安定範囲は±3～5、⑤対応温度：80～200℃（±）、など。PCB 大量搬送用全自動乾燥機（株）マックステック　長野県千曲市大字新田836-4請求番号M5121請求番号M5122請求番号M5123請求番号M5124請求番号M0027請求番号M0028