メカトロニクス1月号2013年 page 56/60

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56 MECHATRONICS　2013.1　「未来を広げる洗浄技術」をメインテーマに、“ 洗う”に関わるあらゆる製品／技術が一堂に集まる専門展示会『2012 洗浄総合展』が東京ビッグサイトにおいて開催された。　同展示会は、『2....

56 MECHATRONICS　2013.1　「未来を広げる洗浄技術」をメインテーマに、“ 洗う”に関わるあらゆる製品／技術が一堂に集まる専門展示会『2012 洗浄総合展』が東京ビッグサイトにおいて開催された。　同展示会は、『2012土壌・地下水環境展』『VACCUM2012－真空展』『Japan Robot Week 2012 ／ロボットイノベーション2012』との同時開催で行われ、3日間の総来場者数は30,012 名を集めた。■省エネ設計かつ高性能を実現　（株）TOSEIは、洗浄から乾燥までノンストップで行え、省エネ設計かつ高性能を実現したコンパクトタイプの一槽式真空洗浄乾燥機『トスクリーン PCS-2320』の展示を行っていた。　同製品は、加熱／冷却機構の改善や、圧力差を利用した溶剤供給／排水／コントロールなどの省エネルギー設計を実現。溶剤排気部へ高性能コンデンサを装備し、溶剤の消耗を抑え低ランニングコストに貢献。内蔵蒸留機により常に溶剤を蒸留再生し、クリーンな溶剤で高洗浄性能を実現。切削加工部品／プレス加工部品／リードフレーム／モータ部品／精密部品（ 電子部品など）などの洗浄用途に適している。■優れた真空蒸留技術で　汚れた溶剤を新液同様に再生　片倉工業（株）は、優れた真空蒸留技術で汚れた溶剤を新液同様に再生する真空蒸留再生装置『RD100 ／200 ／ 500 ／ 200S』の展示を行っていた。　同製品は、熱媒体油による間接加熱方式で安全に蒸留でき、ファンによる空冷方式で冷却するためチラーなどの冷却設備が不要。省エネ／省スペースを実現し、溶剤の吸引／圧送は全自動で行う。タッチパネルで簡単に操作が行え、洗浄機との接続も可能。炭化水素系洗浄溶剤（第四類第2・3 石油類）／臭素系溶剤／フッ素系溶剤／アルコール系溶剤などが対象溶剤。■高効率振動子ユニットとの　組み合わせで洗浄力をアップ　日本アレックス（株）は、新開発の高効率振動子ユニットとの組み合わせで、洗浄力を大幅アップしたハイブリッド型超音波洗浄ユニット『メガパワーシリーズ』の展示を行っていた。　同製品は、高い洗浄力を実現しながら従来の超音波洗浄で問題だったエロージョン（浸食）現象の改善にも成功。振動子が高効率のため、状来の洗浄力で十分な場合には低電力での操業が可能で、ランニングコストを抑えCO2 削減にも大きく貢献。太陽電池ウエハ製造工程での洗浄、各種金属部品洗浄はもとより、印刷ローラーの洗浄や塗料の剥離／バリ取り工程などにも広く使用できる。■小型サイズで洗浄から乾燥まで自動運転　シャープマニファクチャリングシステム（株）は、幅1,000×奥行き1,600×高さ1,650mmの小型サイズで、洗浄から乾燥まで自動運転する1 槽式真空洗浄乾燥装置『UC-700AD』の展示を行っていた。　同製品は、コンパクトサイズのため設置場所の選択範囲が広がる。1 槽で洗浄／すすぎ／乾燥まで自動運転を実現し、作業効率アップと安全性の向上が図れる。微細な個所も強力洗浄、高速乾燥を実現。さらに真空ポンプの性能をアップし、洗浄／乾燥性能の向上を図っている。2012洗浄総合展FPD International 20122012 年10 月17 日（水）～19日（金）東京ビッグサイト（公社）日本洗浄技能開発協会／日本産業洗浄協議会／日刊工業新聞社■ 会　期■ 会　場■ 主　催　液晶や有機EL などフラットパネルディスプレイ（FPD）の総合技術展『FPD International 2012』がパシフィコ横浜において開催された。　同展示会は、今回初開催となる『MOBILE TECHNOLOGY 2012』、特別企画『プリンテッドエレクトロニクス 2012』、『Organic Electronics 2012』などと併催で行われ、3日間の総来場者数は50,247 名を集めた。■薄膜の膜厚や光学定数の分布を　素早く評価　（株）アルバックは、スナップショット計測による高速測定と自動マッピング機能により、薄膜の膜厚や光学定数の分布を素早く評価できる自動高速分光エリプソメータ『UNECS-3000A』の展示を行っていた。　同製品は、最大でφ 300mm 基板に対応する自動R-θステージを装備し、基板面内の膜厚／光学定数の分布を自動で測定できる。高次移相子を備えた分光偏光方式によるスナップショット計測で、従来の分光エリプソメータでは不可能であった高速測定（最速20ms）を実現。簡単なレシピ設定で高速／高精度な分布評価を行うことができるので、研究開発から生産ラインまで幅広い用途で使用できる。■第5～6世代プレートサイズに対応　（株）ニコンは、第5～6世代プレートサイズに対応し、2μ mの高解像度を達成した液晶スキャナ『FX-67S』のパネル展示を行っていた。　同製品は、大型プレート基板による高精細中小型パネルの生産に対応。スキャナ方式により、生産性向上と高解像度／高精度アライメントを同時に実現。複数の投影レンズで構成されたマルチレンズシステムを搭載し、広い露光範囲を確保すると同時に高解像度を達成。第10世代基板用露光装置『FX-101S』用に開発した高度なキャリブレーション機能を適用し、より安定した露光性能を実現。■スマートフォンなどの　輝度／色度分布評価を効率化　コニカミノルタオプティクス（株）は、スマートフォンなどの輝度／色度分布評価を効率化する2次元色彩輝度計『CA-2500』の展示を行っていた。　同製品は、2005年に発売した『CA-2000』をさらに進化させ、中小型ディスプレイの評価における操作性を一層向上させた。最大測定点が約1,000×1,000という高精細で光源の色分布／色むら／色度／輝度を測定することができ、測定最低輝度は0.05cd ／ m2と従来機の1/2の暗さでも測定可能。耐久性能も上がり、測定可能回数が従来機の5倍になった。標準付属品のデータ管理ソフトウエア『CA-S25w』を使用することで、ビジュアルでわかりやすい測定データ表示やさまざまな評価／分析が簡単な操作で行える。■ガラス強度試験機による　実地破壊テスト　ショーダテクトロン（株）は、（株）島津製作所製の卓上型精密万能試験機『オートグラフAGS-X シリーズ』を使用した、ガラス強度の実地破壊テストのデモを行っていた。　同製品は、広く開放されたマルチテーブル／ワンタッチ操作の新型ストロークリミットと飛散防止カバー／PCの試験条件も呼び出せる本体操作パネルなどを搭載。また、マクロ機能を搭載した制御用ソフトウエアにより、試験作業の効率を格段に向上。卓上タイプの標準機でありながら、高性能機に匹敵する性能を実現している。真空蒸留再生装置『RD100 ／ 200 ／500 ／ 200S』ハイブリッド型超音波洗浄ユニット『メガパワーシリーズ』1 槽式真空洗浄乾燥装置『UC-700AD』一槽式真空洗浄乾燥機『トスクリーン PCS-2320』自動高速分光エリプソメータ『UNECS-3000A』液晶スキャナ『FX-67S』2 次元色彩輝度計『CA-2500』ガラス強度試験機による実地破壊テストのデモ2012 年10 月31 日（水）～11月2日（金）パシフィコ横浜日経BP 社■ 会　期■ 会　場■ 主　催