メカトロニクス12月号2012年 page 28/60

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28 MECHATRONICS 2012.12半導体製造機器 （ セミコン・ジャパン2 012）シリコン／GaAsなどの各種半導体基板／液晶基板／マスクなどの断面観察用サンプルを簡単に作製できるウエハ／マスク破断装置。特徴は、①アライ....

28 MECHATRONICS 2012.12半導体製造機器 （ セミコン・ジャパン2 012）シリコン／GaAsなどの各種半導体基板／液晶基板／マスクなどの断面観察用サンプルを簡単に作製できるウエハ／マスク破断装置。特徴は、①アライメント調整→ケガキ圧設定→テスト破断→ケガキ位置ティーチング→自動ケガキ実行の5ステップで操作は簡単、②超硬合金製ホイールカッタでのケガキと専用工具による破断加工でサンプルを作製、③高精度ケガキ機構とステップケガキで微小部位の破断面サンプルを作製、など。AMC シリーズウエハ／マスク破断装置（株）アプコ　東京都八王子市北野町522-10静電力により基材表面に無接触で機能性粉体を積層できる卓上静電スクリーン薄膜成形機。特徴は、①基材表面に機能性粉体を所定の形状に輪郭の崩れない積層が可能、②異種多様な機能性粉体を平面上に交互に積層したり、異種の機能性粉体の積み重ねが可能、③粒径100μm以下の粉体を厚みむらの少ない5～200μmの積層が可能、④小型軽量で塗布部と電源部が分離構造のため、グローブボックスの中で作業可能、など。TS-1卓上静電スクリーン薄膜成形機ベルク工業（有）　埼玉県和光市本町23-24宇宙環境のような高真空用に開発された米製銀充填型高真空用高導電／高熱伝導性グリース。特徴は、①体積抵抗率は0.0008Ω・cm、②熱伝導率は5.58W/m・K、③蒸気圧は20℃で3×10-14トル、50℃で2×10-12トル、100℃で1×10-9トル、200℃で2×10-6トルと低く、蒸発を抑え長期間使用することができる、④使用温度範囲は-15～288℃、⑤高真空中で高導電性や高放熱性が要求される用途に適している、など。641-EV高真空用高導電／高熱伝導性グリース（株）エス・エス・アイ　東京都渋谷区南平台町1-5Z軸はくさび構造で、ストロークが20mmある3軸自動ステージ。特徴は、①くさびタイプのZ軸は構造が複雑なため、大きさや剛性、ストロークともに他社ではラインナップが少なく、同社では製作実績が多い商品となっている、②受注生産のため希望用途に合わせた物を製作、③希望する用途での使用に対し、比較的短納期で安価な物を提案できる、④特注要素としては、テーブル面サイズ、材質、高さ寸法、精度、モータの種類、スケールの有無など極力対応、⑤その他、XY軸や特殊治具、検査装置などでも同様の対応が可能、など。500×650mm 基盤検査用3軸自動ステージジグテックプレシジョン（株）　埼玉県飯能市笠縫8-4エコノミーボールスプライン（LS型）のスリーブ全型式とロータリボールスプライン（LS-R／LS-RY／LK-R型 ) に取リ付け可能な潤滑キャップ。特徴は、①キャップ内に、繊維素材に潤滑油を含有させた潤滑パットを組み込んでおりスプライン軸のボール転動面に油膜を成形させることでメンテナンスの期間を大幅に延長可能、②潤滑キャップはスリーブ両端に取り付けられているためコンパクト、③メンテナンスにかかる費用の軽減、給油の入れ忘れを防止できる、④スリーブ内にはリチウム石けん基グリース2号が封入されているので稼働前のグリース封入作業がなくなる、など。潤滑キャップMMボールスプライン用潤滑装置日本特殊ベアリング（株）　東京都板橋区成増1-6-10高効率／省エネルギーのステッピングモータを搭載した電動スライダ。特徴は、①搭載したモータは、ステッピングモータならではの高応答、使い勝手の良さを継承しながら、クローズドループ制御による高信頼性を加え、また、高効率化によりモータの大幅な発熱低減を実現している、②ドライバは、RS-485(RTU)制御やFA ネットワークなど上位システムにあわせて制御方法を選べる位置決め機能内蔵タイプをラインアップ、③スライダ部は、ボールねじを採用し、小型／軽量な外形ながら、幅75.4mm×高さ83mm のEAS6タイプで最大60kgの高可搬質量を実現、など。EAS シリーズ電動スライダオリエンタルモーター（株）　東京都台東区東上野4-8-1ルネサス エレクトロニクス（株）製マイコンRX63N／RX631（177ピン）を実装したマイコン搭載ボード。特徴は、① SDRAM（32MB）を1つ搭載、② USBインタフェース（USB-A）1ch搭載（ホスト）、③USBインタフェース（USBMINI-B）2ch搭載（ファンクション）、④CANインタフェース（4P）最大3ch搭載、トランシーバIC実装済みでCANネットワークに即参加可能、⑤イーサネットインタフェース（RX63N）1ch搭載、⑥E1／E20エミュレータ接続用インタフェース（14P）搭載、（38Pオプション搭載可能）、など。HSBRX63NC ／ 631Cマイコン搭載ボード（株）北斗電子　札幌市中央区大通西16-3-7瞬時に高速回転し、しかも高速回転の時も高トルクな、220mm角の低慣性ACサーボモータ。特徴は、①同社従来品に比べ、瞬時最大角加速度が30,000rad/s2から36,000rad/s2に、20％向上している、②同社従来品に比べ、高速回転時のトルクが13％向上しており、最高回転速度2,000min-1の時、190N・mから215N・mになっている、③出力容量は20kW、④用途としては射出成形機、一般産業機械などに適する、など。主な仕様は、定格出力：20kW、定格回転速度：1500min-1、最高回転速度：2000min-1、定格トルク：135N・m、フランジサイズ：220mm、など。R1AA2220KB低慣性ACサーボモータ山洋電気（株）　東京都豊島区北大塚1-15-1請求番号M5101 請求番号M5105請求番号M5102 請求番号M5106請求番号M5103 請求番号M5107請求番号M5104 請求番号M5108