メカトロニクス6月号2012年 page 42/60
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42 MECHATRONICS 2012.6半導体設計ツール・製造機器・装置耐熱性（耐熱上限1,100℃）／耐薬品性／耐食性／電気絶縁性／耐熱衝撃性に優れた密着皮膜を生成するセラミックコーティング剤。特徴は、①のびがよく、はけ....
42 MECHATRONICS 2012.6半導体設計ツール・製造機器・装置耐熱性（耐熱上限1,100℃）／耐薬品性／耐食性／電気絶縁性／耐熱衝撃性に優れた密着皮膜を生成するセラミックコーティング剤。特徴は、①のびがよく、はけ／筆による塗布やディッピング／スプレーによるコーティングが容易、②生成したセラミック皮膜の表面は滑らかで、高温下での離型効果がある、③高純度のシリカ微粒子をもちい、精密金属部品のコーティングにも使用可能、④成分は無機物のみ、など。セラコート22セラミックコーティング剤（株）オーデック 東京都大田区東馬込2-19-10様々な産業向けの高効率ドライスクリュー真空ポンプ。特徴は、①2本の非接触スクリューロータが回転し、シリンダとスクリューチャンバ間で補足され排気部へと運ばれる機構、②0.1Paから1Paにおいて高い排気性能を発揮、③スクリューロータ式のため排気パスが短く、重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応可能、④耐久性がありメンテナンス間隔が長くコスト低減に威力を発揮、⑤コンパクト設計のため移動が容易、かつ省フットプリント、⑥CVD、ETCH、ロードロック、PVD、トランスファチャンバ、ヒートチャンバなどに使用可能、など。COBRA BA ／ DS シリーズドライスクリュー式真空ポンプ日本ブッシュ（株） 東京都江東区扇橋2-17-5液体用のメンブレンからデプスまで幅広く揃うフィルタ。特徴は、①オールPTFEのプリーツフィルタも用意、②比較試験を行う事で最適なものを提案、③少ロット・短納期に対応した製作が可能、④ハウジング／水処理装置は設計から受け付け最適な方法を提案、⑤イオン交換樹脂再生も可能、など。オールPTFEのプリーツフィルタの主な仕様は、タイプ：APTF／AET、ろ過材質：PTFE Membrane、サポート材質：ECTFE、コア/ケージ/エンドキャップ材質：PVDF／Halar（ECTFE）、耐熱温度：120℃／160℃、耐圧（MP20℃）：0.4／0.5、など。プリーツフィルターフィルタ千代田交易（株） 東京都千代田区神田佐久間町2-1シリコン系放熱シートの100倍の放熱性能をもつ熱伝導シート。特徴は、①400W/mk程度の放熱性を有し、ヒートシンクの小型化や軽量化に貢献、②放熱性をもつ樹脂の層間に銅またはアルミニウムを主材料とした薄い熱伝導層をはさむことで、放熱性と可撓性を両立、③厚さは55／80／100／120μの4種類をラインアップ、④使用温度範囲は-20～120℃で、電源関連機器、熱交換器、照明機器、半導体部品、モータ周辺などの高い放熱特性が求められる機器／装置に最適、など。55 ／ 80 ／ 100 ／ 120 μ熱伝導シートセイル電子ジャパン（株） 大阪府高槻市芥川町1-13-17部品の3次元形状測定を行う簡易型卓上計測装置。特徴は、①光切断法に基づき幅の広いレーザ光源でワークを一括スキャンする測定方式のため短時間での3D形状計測が可能、②ワークの大きさを測る従来の計測装置に検査対象専用のソフトを追加、②OK/NG判別が可能なので、研究開発用途の他、少量製造ラインでの3D外観検査にも対応、③BGAのバンプ高さ／直径／体積／コプラナリティなど、はんだ接合性の検査を行うBGAバンプ計測検査モデルや、PCB用基材計測検査モデル、はんだフィレット計測検査モデル、膜厚分布計測検査モデルなど、検査対象に応じカスタマイズ可能、など。3D-Eye スキャナ計測検査モデル卓上型3D形状計測装置日本エフ・エーシステム（株） 東京都品川区西五反田4-32-1スリムかつコンパクトで汎用性の高い静電気除去ファン。特徴は、①ACコロナ放電式の除電器で、針の汚れによるイオンバランスの崩れがない、②高周波圧電トランスを採用し、イオンの再結合による損失が少なく効率よくイオンが生成される、③強力120mm角DCファンで、遠くまでイオンエアを送り出す、④ファンの風量は3段階に調整可能、⑤スタンドのねじを調整すると、風向きを上下方向に変えられる、⑥構成部品をコンパクトに本体に組み込み、小型軽量化を実現、⑦入力電源はDC24Vで、本機への供給は付属の専用ACアダプタから行える、など。F-120静電気除去ファン（株）ベツセル 大阪市東成区深江北2-17-25高精度4探針法による抵抗率／シート抵抗測定システム。特徴は、①高精度テスタ、高性能4探針プローブヘッド、安定した搬送機構により信頼性の高い測定を実現、②4種類のプローブヘッドが装着できるロータリ機構のため、従来のようなサンプルごとのプローブ交換作業が不要、③デュアルモードにより、エッジ1mmまで高精度に測定、④高速測定によるすぐれたコストメリット、⑤薄膜3～1,500nmの装着実績、⑥シンプルなハードウエア構成、省スペースのフットプリント、⑦測定時間：120秒/ウエハ（ロード～49点測定～アンロード）、など。WS-3000抵抗率／シート抵抗測定システムナプソン（株） 東京都江東区亀戸2-3-6半導体製造装置／FPD製造装置／金型冷却装置などで使用する流体の流量と温度を監視する流量センサ。特徴は、①新たに2機種が加わり流量レンジをより適切に選定しやすい、②0.5～5、1.5～10、5～30、7～50、10～80、20～160L/min、③可動部がないため摩耗やごみ詰まりによるトラブルが少なく高耐久性、④流量／温度／積算の3項目を計測して表示（KSL-5/10/30/50Lは流量と温度のみ）、⑤90℃までの高温対応（KSL-80/160Lは除く）、⑥同社製マニホールドに搭載可能（KSL-80/160Lは除く）、⑦大流量の計測が可能（KSL-80/160L）、など。KSL シリーズ流量センサ（株）リガルジョイント 相模原市南区大野台1-9-49請求番号F5209 請求番号F5213請求番号F5210 請求番号F5214請求番号F5211 請求番号F5215請求番号F5212 請求番号F5216