メカトロニクス1月号2012年 page 19/60
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概要:
MECHATRONICS 2012.1 19センサ・計測請求番号A5049請求番号A5050請求番号A5051請求番号A5052シンチレータタイプの検出器で電子銃などから試料に照射された時に放出されるエネルギーの低い二次電子(数+eV程度)を捕....
MECHATRONICS 2012.1 19センサ・計測請求番号A5049請求番号A5050請求番号A5051請求番号A5052シンチレータタイプの検出器で電子銃などから試料に照射された時に放出されるエネルギーの低い二次電子(数+eV程度)を捕獲し、増幅して電気信号として出力する小型二次電子検出器。特徴は、①pAからμAまでの電流検出が可能、②最高応答速度5MHz、③最大2×106の信号増幅が可能、④信号出力1Vpp、⑤1×10?2Pa以下の真空度から使用可能、⑥高真空対応(最大ベーキング温度150℃)、⑦取り付けフランジはICF70、など。MINI-SED小型二次電子検出器(株)アプコ 東京都八王子市北野町522-10精度/高反応なダイアフラムマノメータと高耐久性なピラニセンサを組み合わせることにより、0.1?200kPaまでの広範囲計測が可能なダイアフラムマノメータ。特徴は、①設定可能圧力セットポイントは標準で2個所(オプションで4個所設定も可能)、②センサ側出力は標準仕様で0?2VDCと0?1.5VDCから選択(オプションで0?10VDCと4?20mAアナログ出力を選択可能)、③計測単位はPa/millibar/Torr/mTorrを選択可能、など。VRC 社製ダイアフラムマノメータ(株)ジェイビック 東京都八王子市楢原町433-5有効測長範囲50mmのプッシュロット式リニアセンサ。特徴は、①先端部テンションロッドを押し当てるだけで変位量を計測可能、②先端部テンションロッドの保持機構にベアリングを使用しスムーズに稼働、③本体の構造を簡素化し軽量化を実現、④センサケーブルは約8mでケーブルの取り回しが自在に行なえる、⑤同社製デジタルカウンタとの組み合わせで簡単に続変位量が計測可能、⑥保護構造IP65の防塵/防滴仕様、など。PRS-050プッシュロット式リニアセンサ(株)ムトーエンジニアリング 東京都品川区西五反田7-21-1同社製微差圧センサを使ってソフトウエア上で簡便に評価することが可能な微差圧センサ評価キット。特徴は、①微差圧センサSDP610、ソフトウエアを含んだUSBスティック、アダプタケーブル、センサケーブルが付属、②小型/低コストにデザインされ、高感度/高速レスポンスによりさまざまなアプリケーションに最適、③個々のセンサは集積回路技術によりキャリブレーション/温度補償されている、④測定範囲:?500?500Pa、など。EK-P3微差圧センサ評価キットセンシリオン(株) 東京都港区高輪3-25-22請求番号A0016請求番号A0018請求番号A0017