ブックタイトル実装技術4月号2020年特別編集版

概要

実装技術4月号2020年特別編集版

13清掃の基本と考え方??????????????????場の????の????に3行うべきである。装置の設置場所の床面はクリーンルームといえども、かなりの塵埃が堆積しているので必ず清掃する。④ ????用??　まずは大まかな塵埃除去として、粘着ローラーや真空掃除機を用いて粗清掃や普通清掃を行う。その後にモップや拭き取り清掃を行うが、比較的大きい繊維や破片や屑類を除去する。最後にワイピングクロスで発塵させないように目に見えない小さい塵埃を除去する。これを清拭清掃という。⑤ ????????　製造装置で製品がクリーンルーム内に暴露される場所や作業台表面は特に清拭清掃が必要であるが、その良否は一般に目視検査で行うことが多い。しかしながら、上方向からの目視でのチェックでは細かい塵埃は見えない。そのため、作業台上の異物を目視で観る場合は、目線をできるだけ水平方向に合わせる。このとき懐中電灯を用いてもよいが、前後50cmしか見えない。遠くまで見たい場合はレーザ光源を用いた遠達性の高いライト（HID：High Intensity DischargedLamp）を用いるとよく観察することができる。最近では、LEDライトも用いられているがHIDと比較し遜色はない。??????????????の????　図2に掃除方法の基本を示す。掃除には箒、刷毛、ワイパー、雑巾、粘着ローラ、ブラシなど日常目にする多くの拭き取り道具が用いられる。もともと掃除するという行為は、塵埃を取り除くと同時に塵埃を飛散させているという認識が必要である。この意味からクリーン化では　??1?? ????????????に??????????を??????らさ??い??2?? ??????????????を????さ??い??3?? ??????????????発??さ????い以上が3大基本となる。クリーンサイエンスジャパン図2　掃除方法の基本