ブックタイトル実装技術5月号2019年特別編集版
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概要
実装技術5月号2019年特別編集版
16環境関連技術??1???????? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????ALD（原子層堆積）超薄膜成膜法による資源利用の効率化PICOSUN JAPAN（株） / 八尋 大輔図1 高アスペクト比（1:3000）表面へのAl2O3 20nm成膜。左はPicoFlow（HAR成膜用ディフュージョンエンハンサ）なし、右はPicoFlowあり