ブックタイトル実装技術2月号2019年特別編集版
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概要
実装技術2月号2019年特別編集版
20検査技術12 はじめに 本稿では、当社がこのたび開発した、ICワイヤボンドを自動検査するインラインタイプのX線検査装置『LFX-1000』（図1）の特徴と概要をご紹介する。 製品の概要 『LFX-1000』は、IC（LED）などのリードフレーム部品をX線を用いて透過し、その透過画像から、ワイヤボンドの良否、リードフレームの良否を自動判定検査する装置である。 検査方式は2D透過検査で、X線管種類はマイクロフォーカス密閉源（密閉型）、X線管電圧は30～100kV。X線源がマイクロフォーカスX線管であるため、インラインタイプでありながらも高解像度の画像で高精度な検査を行うことができる点が大きな特徴となっている。 各倍率時の1 画素あたりの分解能は以下のとおりである。●高倍率時 … 1.5μm●中倍率時 … 10μm●低倍率時 … 19μm また、下記のような高速検査が可能である。●高倍率時 … 1ワイヤ＝0.1sec●中倍率時 … 1ワイヤ＝0.01sec●低倍率時 … 1 画素＝0.001secICワイヤボンドをインラインで自動検査するX線検査装置（株）アイビット図1 X線インライン検査装置????FX??1000??