ブックタイトル実装技術12月号2014年特別編集版

概要

実装技術12月号2014年特別編集版

11精密小型試料研磨機（株）池上精機PR請求番号　M0708■精密小型試料研磨機『IS-POLISHER』　ISPP-1000　電子顕微鏡をはじめとした各種観察・解析の前処理試料作製を得意とする研磨装置。　豊富な試料ホルダの開発で試料を直接固定でき、特定部分観察は研磨量調整機構、研磨面の角度を補正する機能で正確さを追求。従来機では困難とされてきた精密仕上げを実現した。試料包埋が不要のため、試料完成までの大幅な時間短縮を図ることができる他、研磨レシピの時間・研磨圧・研磨速度を数値化することで専任者の必要はなく、初心者でも研磨作製が可能。また、軟試料の研磨はウェイトキャンセラ機構を使ってダメージを極力低減できる。●半導体パッケージの断面観察　IC構造調査は、1 軸傾斜試料ホルダを使い微細な傾斜角を設定しながら研磨することで正確な配列出しを可能にする。合金層、拡散層との接続部位、また実装領域のプリント基板とはんだ付け性など、全体構造の中で異なる材質の接合部位を鮮明に観察できる。同製品は前処理研磨機として、半導体パッケージの構造、実装分野の領域まで幅広く活用されている。　　　　　　　　　＜請求番号 M7017＞SEM観察像EBSD像はんだの研磨ICのボンディング配列出し事例SEM観察像