実装技術2月号2013年特別編集版 page 25/44
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31れぞれの推奨レーザを紹介していた。 公益財団法人科学技術交流財団 東海広域ナノテクものづくりクラスターでは、ラジカルモニタ、プラズマ電子温度計測などのプラズマ計測技術やGaNon Siウエハに関する展示を行....
31れぞれの推奨レーザを紹介していた。 公益財団法人科学技術交流財団 東海広域ナノテクものづくりクラスターでは、ラジカルモニタ、プラズマ電子温度計測などのプラズマ計測技術やGaNon Siウエハに関する展示を行っていた。 名古屋大学が開発した自律型ナノエッチング装置は、プラズマ計測技術の構築によって実現したもの。ワンポートラジカルモニタを新たに開発、プラズマ測定器を小型化したことによってエッチング装置への組み込みが可能となり、プロセス基板表面での反応をモニタリングすることでナノサイズのエッチングを可能にしているもので、電子デバイスの高機能化に貢献する。 また名古屋大学と（株）栗田製作所の共同研究によって開発したソリューション（液中）パルスプラズマを発生させる電源についても展示。大量にナノ粒子を合成する大型装置（18kW）、中型装置（6kW）、ラボ用のコンパクトかつ低価格なハンディタイプ（1kW）などを用意しており、オプションで電流制御や整流機能も追加できるなど、用途の拡大と具体化に貢献している。 さらに、名古屋工業大学が開発したGaN/Siパワーデバイス部材も注目を集めていた。これは有機金属気相成長法を用いて、大口径Si基板上に独自の中間層を設けて極薄のGaN 結晶膜を形成し、大電力用パワーデバイス部材を開発したというもので、歪みの少ない高品質のGaN 成長層を実現しており、デバイスの小型化・軽量化、スマートグリッドの実現、自動車への応用などが期待される。 テクノアルファ（ 株）では、IminaTechnologies のナノ＆マイクロマニュピュレータ『miBot BT-11』を紹介していた。 この『miBot BT-11』はスイス連邦大学における高精度ロボット開発技術が活用されたキュービック型ロボットで、自走して位置決めを行う。μ＆nサイズのサンプル作製、マイクロデバイスの動作確認に最適で、ピエゾアクチュエータを使用し、きわめて精密、かつ簡単な操作を実現している。特徴は、①自走式ロボットによりXYZ＆θへ可動、② 20×20×12.5mm の最小ボディ、③広い可動範囲（cm単位で移動可能）、④SEM/FIB 対応（真空仕様あり）、⑤幅広いアプリケーションに対応、などの点が挙げられる。アプリケーション例としては、ナノ＆マイクロサイズのサンプルの採取と移動、電気特性測定用プローブ（電気信号の入出力）、MEMS動作確認、細胞のサンプリングなどがあり、ナノワイヤサンプリングやLED動作テスト、単細胞の細胞膜破壊、MEMS の検査、光ファイバ移動、TEM内サンプル移動など幅広い用途で使用できるものとして注目を集めていた。 また同社のブースでは、ISORG 社製有機センサもデモを交えて紹介していた。このセンサは、プリンテッドエレクトロニクスの特徴を生かし、薄さ、フレキシブル、大面積、軽量、すぐれた感知能力を有した次世代センサ。プラスチック、ガラス、紙にインテグレートでき、光センサ、モーションセンサなどのユーザー視点で様々なアプリケーションへの転用が可能なものとなっている。 アズビル（株）（旧（株）山武）では、BCPソリューション地震計連動装置緊急停止・入退室システムを紹介していた。これは、インテリジェント地震緊急停止システムと入退室／在場者管理システム、監視カメラシステムを連携させたもので、各システムの適切な設置によって、避難路の確保、設備の安全遮断を実現。さらに在場者や地震の状況を迅速に把握し、被害（従業員、近隣住民、設備、製品などへの影響）を最小限に抑え、早期の対策立案を支援する。 上記のインテリジェント地震検知システムは、インテリジェント地震センサ（SES60）によってあらかじめ設定された感震条件で地震を検知するもので、最大3台のインテリジェント地震センサにより多数決による確実な地震検知を行うことが可能。検知時には非常放送を行い、ガス漏れによる火災や爆発などの2 次災害防止のため設備装置を自動停止するシステムとなっている。 また、入退室管理システムは、確実な入退室管理を行うことで震災時の在場管理が可能となり、安否確認データとして利用可能で、さらに点呼用リーダを設置することで在場者の確認ができる。加えて、地震センサと連携してゲート開放（パニックオープン）することによって避難経路確保と退避を支援。ネットワーク経由で遠隔地でバックアップすることで、震災現場でシステム異常になった場合でもデータの可用性が確保できるというシステムである。 これらのシステムに監視カメラを組み合わせることによって、事業所の安心、安全を確保するもので、多くの来場者が説明に耳を傾けていた。 同展示会の次回開催は、2013年12月4日（水）?6日（金）、幕張メッセにおいて予定されている。東海広域ナノテクものづくりクラスターのブースBCPソリューション地震計連動装置緊急停止・入退室システムに関する展示ナノ＆マイクロマニュピュレータ『miBot BT-11』コヒレント･ジャパン（株）のブース