実装技術2月号2013年特別編集版 page 21/44

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19革新・Rexxamが贈る技術と現場の知恵 ?『Sherlock-300シリーズ』?検査装置・技術の最新動向（株）レクザム5　文字入力や画面の拡大・縮小などを指先操作で簡単に切り替え可能であり、現場でキーボードとマウスを扱....

19革新・Rexxamが贈る技術と現場の知恵 ?『Sherlock-300シリーズ』?検査装置・技術の最新動向（株）レクザム5　文字入力や画面の拡大・縮小などを指先操作で簡単に切り替え可能であり、現場でキーボードとマウスを扱うスペースを確保する必要がない。（3）『Silent』＆『Speedy』　高剛性のX-Y2 軸駆動機構とベルト駆動採用により、カメラ部は静かで滑らかな高速移動が行える。また、自社製品の半導体ウエハ搬送用ロボット技術を応用し、± 0.1mmの正確な位置精度を得ることができる。カメラ駆動部を図11 に示す。　検査時にカメラのみが移動することで基板の実装部品への影響を最小限に抑えられるため、リフロー前検査なども高速で行える。　この駆動機構と220万画素カメラによる広範囲の撮像領域により当社比、約3倍のスピードでの検査を実現している。（4）『Slim』　高速検査機構を実現しつつ装置サイズのコンパクト化に成功している。幅が620mmのため、新規ラインへの配置や既存ラインへの追加設置性に優れた機体となっている（図12）。　また、フロントオープニング機構により、両サイドを挟まれたラインレイアウトでも前面を妨げず、大開口で簡単に基板へアクセスすることを可能にした。　　　工程管理　外観検査装置により不良基板を検出することで、不良品の流出防止は可能であるが、本質的な不良原因を対策しない限り、不良が出続ける状態となる。これは材料や工数の費用増大に繋がる。　そこで『Sherlock Repair Station』と『SherlockSPC System』の2つの工程管理ソフトを使用することで、統計的に品質のばらつきを管理することができる。不良の増加傾向の発見や不良解析の支援など、不良品発生そのものを防ぐことが可能である。　これらのソフトはネットワークで接続している図10　タッチパネルによる操作例図11　カメラ駆動 機構図12　ライン導入例一覧