実装技術6月号2012年特別編集版 page 20/54

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18全自動デジタル露光機富士フイルム グラフィックシステムズ（株）PR■全自動デジタル露光機　『INPREX IP3600』シリーズ　高い描画性能はもちろん、生産ラインの効率化に貢献する様々な機能を有し、ユーザーの多様....

18全自動デジタル露光機富士フイルム グラフィックシステムズ（株）PR■全自動デジタル露光機　『INPREX IP3600』シリーズ　高い描画性能はもちろん、生産ラインの効率化に貢献する様々な機能を有し、ユーザーの多様なニーズに応える、全自動デジタル露光機のシリーズで、『IP-3600S』『IP-3600H』『IP-3600HH』の各モデルをラインアップ。　同シリーズとしての主な特徴は以下の通りである。●高速・高精細な生産性を実現する機能　①露光光学系　DMD を用いた独自の露光方式を採用しており、高レベルなファイン性と線幅精度安定性を実現。これにより、ビルドアップ基板からパッケージ基板まで幅広い用途に対応可能となっている。アライメント補正、オートフォーカス補正、パターン露光の動作を露光ステージが一往復する間に完結させ、最小限の動作で高速にパターニングするワンタイム・スキャンを実現している。　②データ解像度　多重露出系の採用によって、露光面上の解像度によらず同じ生産性を実現する。ビルドアップ基板向けのIP-3600Hモデルはデータ解像度は1.25μm と2.5μm の切り替えが可能であるが、いずれの場合でも、装置としての生産性は変わらない。　③アライメント補正系　アライメントマーク読み取り用のCCD カメラを4 つ搭載し、複雑なマーク配置に対しても、最適なカメラを割り付けることで、短時間でのマーク計測を達成している。　　④多様なアライメントマークに対応　様々な方法が取られている昨今のアライメントマークを正確に読み取るために、スルーホール読み取り用のローアングル照明に加え、落射照明に近い特別な照明系を搭載。また、基板上に複数種類のマークが存在する場合も柔軟に対応できる。●装置停止時間を極限まで少なくする　機能　①量産ラインでの使用を前提とした自動給排版装置（オートキャリア）の採用。　②露光部本体の一体型設計とし、基板ハンドリング時間の最短化を実現。　　③基板のサイズに応じてクランプの位置が移動するクランプ機構を標準採用。安定性が高く、反りのある基板でも露光テーブルに確実に固定できる（メカニカル・クランプ）。　④基板の反りやうねりによる高さ変化に対応する、独自開発のワイドレンジAF 機能を露光ヘッドごとに搭載。露光領域を短冊状に分割し、それぞれのエリアごとに最適なフォーカスで露光でき、ステージ送り方向のフォーカス位置補正も可能となっている。　⑤オートキャリアの基板搬送機構を用いて、一度基板をもち上げた後でマークを正しく認識できる位置に基板を再セットし、その後、アライメント処理を再実行する自動機能を搭載。この処理によってエラーとなる基板が減り、生産ライン全体の生産性が向上する。●パッケージ基板製造向けの　最新モデル『IP-3600HH』　2011年発売の最新機種『IP-3600HH』は、従来モデルをベースとし、さらなるファイン化実現するために開発されたハイエンド製品。新たに設計した露光ヘッドを搭載している他、データ解像度を細かくすることで緻密な線幅補正を可能としており、基板全面でL/S＝10/10μm のパターンを安定して描画できる。上記のメカニカルクランプ機能、オートフォーカス機能、多彩なアライメント補正機能とあわせた運用をすることで、安定的に高品質の基板を量産することが可能となっている。　さらに、デジタル露光機用の専用DFR と組み合わせ、セミアディブ工法による実生産条件で評価した結果、535x610mm サイズの基板をタクト40 秒（90 面/ 時）を確認している。　加えてこのモデルは、露光機のステージ上に基板を固定する方式として、真空吸着式だけでなく、ブロア吸着式も選択可能（オプション）。薄い基板や波を打っている基板、または基板サイズのバリエーションが何種類もあるというケースにも適する製品となっている。　　　　　　　　 　　＜請求番号 F5013＞