実装技術5月号2012年特別編集版 page 12/40

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10ナノマニュピレータ、他テクノアルファ( 株)PR■ナノマニュピレータ 『miBot BT-10』　時計作りで有名なスイスにある、imina technologies 社が開発した、ナノメータ単位で動作可能なナノマニュピレータ。　「SEM....

10ナノマニュピレータ、他テクノアルファ( 株)PR■ナノマニュピレータ 『miBot BT-10』　時計作りで有名なスイスにある、imina technologies 社が開発した、ナノメータ単位で動作可能なナノマニュピレータ。　「SEM、TEM、そしてFIB などに後付けでマニュピレータを取り付けたい」「光学顕微鏡下でサンプルを動かしたい」「今取り付けられているマニュピレータでは使いにくい」などの要求に応えるために発案されたアイテムとなっている。　一つのプローブを搭載する小型ロボットにより、2mm/ 秒の高速動作から10nm までの超精密動作までを可能としていることに加え、XYZ θの4 方向への動作が可能となり、電子顕微鏡内のスペースを、広く使用することができるようになっている。　またロボットの動作は、スイス工科大学で培われたピエゾアクチュエータ技術が使用されている。　同製品は様々なマイクロツールが搭載可能であり、これらのツールはマテリアルサイエンスやマイクロエレクトロニクス、フォトニクスなどの研究開発に非常に有効である。　　　　　　　　　 ＜請求番号 E5003 ＞■大気圧プラズマ装置『 Plasma Beam』　表面改質や表面活性などを行う、独・Diner Electronic 社製の大気圧プラズマ装置。圧搾空気をプラズマガス源に使用し、大気圧でプラズマを発生させる。このため、アルゴンガスプラズマと比較してランニングコストが安く済む。また、低温（200 ℃以下）のプラズマであるため、製品へのダメージも少ない。 用途は広く、プラズマによる表面活性や汚れの除去、さらに、ガスを変更することで様々な表面処理に対応することが可能。　特徴は他に、① 562 × 360 ×650 mm とコンパクト、② プラズマ電源：周波数：20KHz（矩形波）、出力：300W、③工業用通信バスを内蔵したPC で制御、④手動操作は前面パネルのタッチスクリーンのボタンを操 作、⑤自動運転は、装置背面の端子に信号線を接続しての遠隔操作が可能、など。◎使用例　ウエハボンディング用前処理〔MEMS〕、樹脂の接着前処理、印字前処理、はんだ面の前処理、鉛フリーはんだの活性化、銅基盤の酸化膜除去、など。　　　　　　　　　 ＜請求番号 E5004 ＞『miBot BT-10』LED 点灯確認